我が国が発注したオランダのフォトリソグラフィー装置が長い間納品されていないが、米国が妨害のために介入したことが判明した。

ロイター通信によると、米国政府はオランダが中国にチップ製造技術を販売するのを阻止するために小さな動きを見せている。度重なる圧力の結果、オランダ政府はASMLの中国へのフォトリソグラフィー装置の輸出許可を更新しないことになった。

ロイター通信によると、米国はオランダが中国にチップ製造技術を販売するのを阻止するために小さな動きをしてきた。

米国はこれに関して多くの取り組みを行ってきた。マイク・ポンペオ米国務長官はオランダ政府に働きかけ、米国はオランダ政府とマーク・ルッテ首相自身に圧力をかけ、ホワイトハウス当局者はマーク・ルッテ氏にASMLの販売を許可しないよう説得するために機密情報を共有した最新のリソグラフィー装置は中国に与えられた。

その結果、オランダ政府はASMLの輸出許可を更新しなかった。

ロイター：米政府、中国によるフォトリソグラフィー装置の購入阻止に介入

米国におけるこの「ストップ運動」は2018年に始まった。今年、オランダ政府は半導体製造装置会社ASMLに輸出許可を与え、中国の顧客に1億5000万ドル相当のEUVリソグラフィー装置を販売することを許可した。

その後数カ月にわたり、米当局者らはオランダ側と少なくとも４回の協議を開き、協定を阻止できるかどうかを検討した。しかし、これは不可能であることがわかりました。

なぜなら、米国の輸出管理規制によれば、中国に商品を輸出する外国企業は、米国製部品が価値の25%を占める限り、米国に輸出許可を求めなければならないからだ。米国商務省がこの輸出された露光装置を監査したところ、米国製部品の価値が25%未満であり、管理条件を満たしていないことが判明した。

その結果、トランプ政権は「国家安全保障」を理由にオランダに圧力をかけた。リソグラフィー装置は軍民両用技術製品の輸出に関するワッセナー協定に含まれており、オランダも署名国の一つです。

ワッセナー協定の署名国のリスト。ワッセナー協定は、伝統的武器および軍民両用品の輸出を規制する42カ国（2018年2月現在）によって署名された条約です。協定加盟国は半年ごとに協定加盟国以外の国への伝統的武器の輸出を報告することが義務付けられている。主力戦車、装甲戦闘車両、大口径砲、軍用機、軍用ヘリコプター、戦艦、ミサイルまたはミサイルシステム、小火器または軽火器の 8 つのカテゴリに分類されます。

2019年7月18日、ホワイトハウスの取り組みは頂点に達した。当時、米国国家安全保障問題担当補佐官チャールズ・クッパーマンは、中国訪問中のオランダのルッテ首相に諜報報告書を提供し、中国によるASML技術保有の影響を示した。

これが功を奏したようで、当初ASMLのライセンスは2019年6月30日に期限切れとなり、承認と更新が必要だったが、オランダ政府はASMLの輸出ライセンスを更新しないことを選択した。つまり、その 1 億 5,000 万ドルの機械はまだ納品されていません。

配達前の奇妙な火災により配達時間が遅れた

2018年12月1日、ASMLの部品サプライヤーのプロドライブ工場で火災が発生し、工場の在庫と生産ラインの一部が焼失した。これは ASML の納期に影響を与えています。

ASMLは、できるだけ早く交換部品や消耗品を提供してくれる他のサプライヤーを探しており、火災の影響を完全に評価するには数週間かかるだろうと述べた。

ASMLが中国の顧客と締結した当初の納期は2019年初めだったが、火災の影響でASMLは「2019年初めに供給に多少の遅れが見込まれる」としている（ASMLは発表の中でこれを強調した）。

その後、EUV露光装置の納期は2020年12月に延期された。 2020年半ばに配信。

オランダ外務省のアイリーン・ゲリッセン報道官は、オランダ政府には軍民両用技術ライセンスを付与する主権裁量権があり、特定のケースについてはコメントしないと述べた。ASMLは、EUVライセンスの有無にかかわらず、2020年に中国での売上を増やしたいと考えている。

フォトリソグラフィー装置の製造：どんなに努力しても奇跡を起こすことは難しい

リソグラフィー装置はチップ製造プロセスの中核となる装置であり、チップの品質に決定的な役割を果たします。このチップは製造プロセス全体で 20 ～ 30 回のフォトリソグラフィーを必要とし、これは製造プロセスの半分、チップ全体のコストの 1/3 を占めます。

フォトリソグラフィー装置は製造が非常に難しいため、希少で高価です。リソグラフィー装置には数万点のスペアパーツと複数のトップテクノロジーが含まれており、リソグラフィー装置が成功するには世界的な協力が必要な工業製品であることがわかります。

現在、オランダのＡＳＭＬ、日本のニコン、キヤノン、中国の上海マイクロエレクトロニクスのほか、世界の比較的大手の露光機メーカー数社が実際に露光機の組み立てを行っている。

ブルームバーグのデータによると、45nm未満のハイエンドリソグラフィ装置市場では、ASMLは80%を超える市場シェアを持っています。極端紫外光（EUV）の分野では、ASML は独占的な世界独占を達成しました。

世界政治に影響を与えるテクノロジー競争

露光機は技術の壁や製造プロセスが非常に高く、「苦労して奇跡を起こせる」製品ではなく、短期間にお金をかけてもその差を埋めるのは難しい。

ASML は 1984 年にフィリップスから独立し、電子製造分野におけるフィリップスの高度な経験と技術を継承しました。わずか 35 年間で、インテル、サムスン、TSMC から多額の投資と技術リソースを吸収してきました。

主要な半導体装置製造分野で先行者利益を得るために、西側諸国はASMLに巨額の資金を投資してきた。近年、ASML の年間研究開発投資は収益の 15% 以上を占め、数十億ドルに達しています。

中国の技術レベルと消費者市場の急速な拡大に伴い、ASMLの昨年の収益開示によれば、中国企業からの注文がASMLの総収益の20 %近くを占め、米国企業の16 %を上回り、韓国企業の35 %に次いで2位となった。 。

これらのチップコンポーネントは家庭用電化製品と軍事用途の両方にとって重要であるため、このことは西側諸国でも懸念されています。最近の一連の政策や動向は、異なるイデオロギー間の不信感や対立を反映しています。

今回の露光装置の納入時期につきましては、引き続き状況の推移を注視してまいります。

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